布里奇曼晶体生长炉 - BV-HTRV是根据布里奇曼方法用于晶体生长的管式炉。
布里奇曼方法是用预合成材料缓慢地下降,通过一个具有温度梯度的区间。被熔化的材料通过一个较低的温度梯度区间,形成单晶。BV-HTRV管式炉装有用于布里奇曼方法的特殊设计的结构。标准型号,如HTRV 70-250或HTRV 100-250的工作管装有一个升降装置上,需要注意的是,所有的管式炉都可以装这个装置。最常见的有两种炉型,HTRV 70-250和HTRV 100-250。
优势在于加热区短,根据布里奇曼方法,可获得较理想的温度梯度。温度向管式炉底部递减。拉伸结构向着低温区的位移速度可调。样品热电偶紧靠着样品,能精确了解样品的温度。样品和控温热电偶安装在升降装置底部。装载和卸载时,机构可快速反应。或者根据用户指定的晶体生长速度移动。
样品热电偶和控温热电偶在陶瓷工作管附近。工作管两端是水冷法兰。工作管上面的法兰是固定的,底部的螺纹管,连接着工作管和升降装置。当样品向下移动时,螺纹管开始延伸。即使在真空下,样品也可以向下移动。
工作管顶部是连接着真空泵。真空阀门可手动开关。真空度由压电陶瓷真空计控制。惰性气体流量由转子流速计手动控制。为了在工艺开始前降低氧含量,需要进行反复多次的预抽真空和惰性气体冲刷。
该系统可以连接计算机,可记录运行时的所有数据。如,样品位置、热电偶温度。装载和卸载样品时,夹具必须打开。机构可现实快速移动,样品方便拿取。升降装置用于布里奇曼晶体生长,同时可结合不同的单区或多区控温管式炉。
标准参数
布里奇曼方法—晶体生长
真空环境最高工作温度1450 °C
惰性气氛环境最高工作温度1800 °C
拉伸机构精度高
手动操作
可选数据记录功能
技术参数
布里奇曼晶体生长炉的加热元件是二硅化钼,垂直安装。矩形炉壳内的保温材料为真空成型的纤维板。炉壳上还有用于同外部对流冷却的孔。考虑到样品的熔点,炉子的最高温度有 1600 °C、1700 °C、1800 °C。升降装置的两个马达,可实现不同的齿轮比。如:可达到约10 mm/s的移动速度;鉴于布里奇曼生长工艺,拉伸速度仅为0.00001 mm/s (10 nm/s)。
水冷法兰的水管都套在护套内。控温热电偶型号为B型。可根据要求选配过温保护器。推荐安装过温保护器,因为晶体生长工艺时间长,多数处于无人看守的状态。如果布里奇曼晶体生长所需的温度要高于1800℃,Carbolite Gero可提供合适的解决方案。
BV-HTRV 70-250
Tmax (°C) |
1600, 1700, 1800 |
Max. outer diameter accessory tube (mm) |
100 |
加热长度 (mm) |
250 |
外部尺寸H x W x d(mm) |
1800 x 950 x 750 |
重量(KG) |
300 |
控制柜尺寸H x W x d(mm) |
850 x 560 x 600 |
控制柜重量(KG) |
60 |
功率 (kW) |
6.5 |
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